光伏产业正日益成为国际上继IT、微电子产业之后又一爆炸式发展的行业。光伏硅晶片是由硅材料加工而生的一种圆片,是生产光伏太阳能的一种必须材料,需在净化车间内进行。本文以EPC工程(总承包)集成服务商CEIDI西递的某项目为例,具体谈谈光伏硅晶片净化工程设计施工的相关问题。
由于光伏硅晶片制程的工艺特殊性,需要特别强调车间温湿度要求,其所需配置的送风、排风、给排水管道多,并且送风量大,CEIDI西递设计的该光伏净化车间的层高达到5米,其中车间的吊顶高度为3米左右。此外,还配套了纯水机房、酸排处理塔、有机气体处理机房、硅烷燃烧塔、废水处理机房、冷却水泵房、空调风柜及冰水主机房、压缩空气和特气机房。机房大小是根据机台的需求量来确定。
在空调系统方面,切片室、倒角室、研磨片室仅有温度控制要求,设风冷热泵分体柜式空调机(PAC)来保证房间温度要求,室内机就近放置在车间内,接风管,采用双层百叶风口侧送风方式;室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大,新风采用直接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来补充。车间有防尘要求,风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%,对于≥1μm 粒子),同样屋顶式空调设两级过滤器。
净化系统方面,新风空调机组(MAU)和循环空调机组(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷冻水,加热采用0.2MPa蒸汽,加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿,洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。CP/CVD室、LP/CVD室、洁净包装间净化级别为6 级,换气次数取为50次/小时,采用新风机组(MAU)+循环机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调方式。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。 7级、6 级的洁净室采用的气流形式为顶部高效过滤器送风口送风,房间侧下百叶风口回风,其气流流程为:中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。
生产光伏电池片这类高科技产品依托大量高精尖设备,适时应用AI、机器臂等现代化设备,以满足制绒、扩散、刻蚀等生产工艺要求。对于此类需求无尘化车间的产业来说,专注于洁净工程领域的EPC集成服务商CEIDI西递设计施工经验丰富,能帮业主规划设计尽可能节能且符合工艺要求的洁净工程方案,以帮助业主降低运行费用、提高生产效率,有需要的企业可以登录海西递实业有限公司官网了解更多信息。
|