乐通达 发表于 2022-2-14 16:13:10

纳米压痕技术的作用

纳米压痕技术又称深度敏感压痕技术,是测试材料力学性质最简单的方法之一,广泛应用于材料科学的各个领域。
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纳米压痕仪概述纳米压痕仪,又称纳米压入仪,主要用于测试微纳米薄膜材料的硬度和杨氏模量,通过计算对力和压入深度的曲线得到测试结果,无需通过显微镜观察压痕面积。适用于各种检测分析,如有机或无机材料、软或硬材料,包括PVD、CVD、PECVD薄膜、彩绘釉料、微电子涂料、感光或光学薄膜、装饰薄膜等。
纳米压痕仪的特点完全符合ISO14577.ASTME2546;自动观察光学显微镜;硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力-应变、蠕变性能等力学数据;拥有其独特的热漂移控制技术;采用独立的载荷加载系统和高分辨率的电容深度传感器,及时测量载荷大小。
纳米压痕仪应用范围半导体技术(钝化层、镀金属、BondPads);储存材料(磁盘保护层、磁盘基础上的磁性涂层、CD保护层);光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层);金属蒸涂层;防磨涂层(Tin、TiC、DLC、切割工具);药理学(如药片、植入材料、生物组织);工程(如油漆、橡胶、触摸屏、MEMS)等行业。
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