浙江滨江微电子洁净车间工程设计要求
微电子行业在国内发展非常迅猛，由于微电子工业的生产特点，生产过程中产生出一些废水、废气，必须经过特殊处理达到国家排放标准后才能排放，所以在设计装修过程中相较于常规工厂装修技术门槛会更高一些，给排水和通排风都需要依据一定的标准建设。另外，微电子洁净厂房的设计要考虑一定的灵活性，以便产品换代时方便地进行技术改造。本文以EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递的项目为例，具体分析微电子洁净车间的装修设计。https://i1.go2yd.com/image.php?url=0aAqeLd8qS
以CEIDI西递做的某微电子洁净车间为例，该项目设计的核心光刻洁净车间区域为 82m×30m的洁净度：ISO Class6（1000 级）。主要是根据光刻程序的生产工艺要求来设计其净化内容，譬如为满足千级净化标准，需要设计单向流的空调系统形式，在此项目中，采用的是组合式空调机组（MAU 处理新风）+干盘管（DCC处理回风）+FFU（高效送风口）空调系统形式。
设计师进行净化空调系统设计时，主要从以下几个方面来考虑：
1、压差控制为了保证洁净室在正常工作时或空气平衡暂时受到破坏时，气流都能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，使洁净室的洁净度不会受到污染空气的干扰，所以洁净室与周围空间必须保持一定的压差。《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)中的规定"洁净室与周围的空间必须保持一定的压差，并应按生产工艺要求决定正压差或负压差。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于SPa，洁净区与室外的压差，应不小于lOPa。
2、送风量的确定洁净室的送风量计算不同于一般的空调房间，因为经过滤处理送入洁净室内的清洁空气除了要处理室内的余热、余湿外，还要排除、稀释室内的污染物，以维持室内的空气洁净度。((洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)规定"洁净室的送风量，应取下列三项中的最大值:为保证空气洁净度等级的送风量;根据热、湿负荷计算确定的送风量;向洁净室内供给的新鲜空气量。
设计洁净车间的负荷主要以满足工艺设备生产为主，工人工作环境舒适为辅准则设计，在计算统计负荷量时以业主和设备厂家提供的参数为主。在该项目中，洁净车间冬、夏季节负荷设计标准如下：
夏季负荷洁净车间干盘管冷负荷 415kW；空调箱新风系统冷负荷 2353kW；空压机冷负荷：350kW（业主提供）；纯水机房冷负荷 350kW（业主提供）。
冬季负荷冬季负荷：空调箱新风系统负荷 1598kW。
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除此之外，在该工程的消防系统设计中，依据上海的《建筑防排烟技术规程》标准，在洁净车间所在区域划分两个防烟分区，设置了机械排烟系统。用新风空调机组处理后的洁净空气作为消防补风。在整个项目实施过程中，设计人员只有对洁净室内工艺设备了解清楚，配合工艺、建筑、结构、电气以及给排水等各专业，才能做到设计合理，做出满足生产要求的项目工程。EPC集成服务商CEIDI西递拥有十几年的经验，综合技术能力强，对洁净厂房规范熟悉，让企业少走弯路。
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